Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren Für Integrierte Mos-Schaltungen
| AUTHOR | Bndgens, N.; Bndgens, N.; Schumicki, Gnter et al. |
| PUBLISHER | Springer (03/08/1991) |
| PRODUCT TYPE | Paperback (Paperback) |
Description
Proze technologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zun chst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Struktur bertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschlu daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtproze f r die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
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Product Format
Product Details
ISBN-13:
9783540176701
ISBN-10:
3540176705
Binding:
Paperback or Softback (Trade Paperback (Us))
Content Language:
German
More Product Details
Page Count:
500
Carton Quantity:
8
Product Dimensions:
6.69 x 1.05 x 9.61 inches
Weight:
1.81 pound(s)
Feature Codes:
Bibliography,
Index,
Illustrated
Country of Origin:
DE
Subject Information
BISAC Categories
Technology & Engineering | Electronics - Microelectronics
Technology & Engineering | Electronics - Semiconductors
Dewey Decimal:
621.381
Descriptions, Reviews, Etc.
publisher marketing
Proze technologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zun chst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Struktur bertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschlu daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtproze f r die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
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